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涡轮分子泵

时间：2020-11-29 08:45:16 下载该word文档

（19）中华人民共和国国家知识产权局

	（12）发明专利说明书
		（10）申请公布号 CN102762870B（43）申请公布日 2016.06.29

（21）申请号 CN201180011499.0

（22）申请日 2011.07.20

（71）申请人埃地沃兹日本有限公司

地址日本千叶县

（72）发明人坂口祐幸;三轮田透;和田昭彦

（74）专利代理机构中国专利代理(香港)有限公司

代理人严志军

（51）Int.CI

权利要求说明书说明书幅图

（54）发明名称

涡轮分子泵

（57）摘要

本发明以提高涡轮分子泵的能力作为目的。涡轮分子泵是将叶片部和螺纹槽部组合的真空泵。而且，在保持转子叶片(5)的转子叶片保持部(31)和保持转子筒部(17)的台阶部(72)的接合部，形成有遍及两者的开口(51)。对叶片部进行排气后的气体中的一部分，在由转子筒部(17)和定子螺纹槽(15a)构成的螺纹槽部被排出，剩余经由开口(51)而被引导至转子筒部(17)的内侧，在由转子筒部(17)和定子螺纹槽(15b)构成的螺纹槽部被排出。开口(51)，在形成于转子叶片保持部(31)和台阶部(72)的接合部的情况下，能够承受转子(4)的旋转所导致的应力。另外，通过将设置有平衡器用的重锤的槽(61)设置于比定子螺纹槽(15b)更靠近吸气口侧的间隙部分，从而没有必要缩短定子螺纹槽(15b)的长度。

法律状态