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物体表面高度快速定位的方法与装置

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（19）中华人民共和国国家知识产权局
（12）发明专利说明书

（21）申请号CN201410190950.5（22）申请日2014.05.07
（71）申请人睿励科学仪器(上海有限公司

地址201203上海市浦东新区华佗路68号张江创业园6幢

（10）申请公布号CN105091759B
（43）申请公布日2018.08.24
（72）发明人党江涛;黄建华;李娟（74）专利代理机构北京市金杜律师事务所

代理人郑立柱
（51）Int.CI
权利要求说明书说明书幅图
（54）发明名称

物体表面高度快速定位的方法与装置
（57）摘要

本发明公开了一种用于物体表面高度
快速定位的方法与装置，该方法包括：A.基于表征待测物体表面特征的第一曲面，确定测量点所对应的所述第一曲面中的第一位置；B.基于所述第一位置，确定所述测量点的聚焦位置。本发明通过ZMap数据，可以快速预估计任意点的聚焦位置，聚焦速度得到极大的提高。法律状态
法律状态公告日
2015-11-25
公开
法律状态信息
公开
法律状态

法律状态公告日
2015-11-252015-11-252015-11-252015-11-252015-12-232015-12-232015-12-232015-12-232015-12-232018-08-242018-08-242018-08-242018-08-242019-02-192019-02-192019-02-192019-07-232019-07-232019-08-02
法律状态信息
公开公开公开公开
实质审查的生效实质审查的生效实质审查的生效实质审查的生效实质审查的生效授权授权授权授权
专利权质押合同登记的生效、变更及注销
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权利要求说明书
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