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一种简易的三轴MEMS加速度传感器

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（19）中华人民共和国国家知识产权局
（12）发明专利申请

（21）申请号 CN201811541155.0 （22）申请日 2018.12.17 （71）申请人陕西理工大学

地址 723001 陕西省汉中市汉台区东一环路陕西理工大学

（10）申请公布号 CN109596858A
（43）申请公布日 2019.04.09
（72）发明人王鹏;杨帆;王楠;梁应选;王明武;陈曼龙（74）专利代理机构北京方圆嘉禾知识产权代理有限公司

代理人董芙蓉
（51）Int.CI
权利要求说明书说明书幅图
（54）发明名称

一种简易的三轴MEMS加速度传感器
（57）摘要

本发明涉及一种简易的三轴MEMS加速度
传感器，包括数个传感器，三维坐标系的三个方向上分别设置一个具有面内多梁结构的加速度传感器，坐标轴上的传感器在工作时互相之间不会产生干扰，可以有效地保障三个方向上的测量灵敏度和固有频率，提高测量的精度。
法律状态
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态

法律状态公告日
2019-04-09 2019-04-09 2019-05-03
公开公开
法律状态信息
公开公开
法律状态
实质审查的生效实质审查的生效

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说明书
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