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金属光栅的制备方法

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（19）中华人民共和国国家知识产权局
（12）发明专利申请

（21）申请号CN201310429906.0（22）申请日2013.09.22
（71）申请人清华大学;鸿富锦精密工业(深圳有限公司

地址100084北京市海淀区清华大学清华-富士康纳米科技研究中心401室

（10）申请公布号CN104459852A
（43）申请公布日2015.03.25
（72）发明人朱振东;李群庆;白本锋;范守善（74）专利代理机构

代理人

（51）Int.CI

G02B5/18;B82Y20/00;B82Y40/00;
权利要求说明书说明书幅图
（54）发明名称

金属光栅的制备方法
（57）摘要

本发明提供一种金属光栅的制备方法，其
包括以下步骤：提供一基底；设置一金属层在所述基底的表面；设置一图形化的掩模层在所述金属层的表面，该图形化的掩模层包括多个凸部以及位于该多个凸部之间的多个凹部，所述金属层的部分表面通过所述多个凹部暴露出来；采用等
离子体刻蚀所述金属层通过所述多个凹部暴露出来的部分表面，产生金属颗粒或金属粉末，该金属颗粒或金属粉末附着于所述图形化的掩模层的多个凸部的至少部分侧面，形成多个金属泛边层；以及采用溶剂溶解去除所述图形化的掩模层，在所述图形化的掩模层的溶胀作用下，所述相邻的多个金属泛边层相互搭接，形成多个空心金属结构，并获得一金属光栅。
法律状态
法律状态公告日
2015-03-252015-04-222017-02-01
法律状态信息
公开
实质审查的生效授权
法律状态
公开
实质审查的生效授权

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说明书
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