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正在进行安全检测...

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PRESSUREDHEAD申请(专利号：JP20000329166专利号：JP2002134564A主分类号：H01L21/60申请权利人：OPTREXCORP申请日：2000-10-27公开公告日：2002-05-10分类号：H01L21/60;H01L21/52发明设计人：KIGUCHIYAKATSUYOSHI;ISHIBASHIKO申请国代码：JP优先权：20001027JP2000329166摘要附图：公开国代码：JP优先权国家：JP摘要：PROBLEMTOBESOLVED:Toprovideapressureheadthatcanloadasemiconductordevicewithasimpleconfigurationandefficientworkability,andadditionallycanpreventapartialseparationofafillet.;SOLUTION:Onanabsorptionsurface21ofthepressurehead20,afilm33isformedofafluororesinthatisamaterialthathasasmallintermolecularforceandsurfaceenergyaswellasexcellentheatresistance,non-adherenceandsolventresistance.;COPYRIGHT:(C2002,JPO主权项：【請求項1】半導体素子を吸着する吸着面を有し、圧力および熱により前記半導体素子と電気回路とを樹脂製接着材を介して接続させる圧着ヘッドにおいて、前記吸着面にフッ素系樹脂製被膜が形成されていることを
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