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（19）中华人民共和国国家知识产权局
（12 ）发明专利说明
（21）申请号CN201580006616.2（22）申请日2015.01.29（71）申请人康宁股份有限公司
地址美国纽约州
（10）申请公布号CN106029593B
（43）申请公布日2019.08.30
书
（72）发明人W·R·安格尔四世;S·安纳马莱;C·A·杜兰;J·E·马克森（74）专利代理机构上海专利商标事务所有限公司
代理人徐鑫
（51）Int.CI
权利要求说明书说明书幅图
（54）发明名称
通过组成变化具有T
（57）摘要
提供了用于极紫外光刻(EUVL 的玻璃制
品。玻璃制品包括氧化硅‑氧化钛玻璃，其具有贯穿玻璃制品的组成梯度，组成梯度由如下函数定义：[TiO
法律状态
法律状态公告日
2016-10-122016-10-12
公开公开
法律状态信息
公开公开
法律状态
法律状态公告日
2017-02-152017-02-152019-08-30
法律状态信息
实质审查的生效实质审查的生效授权
法律状态
实质审查的生效实质审查的生效授权
权利要求说明书
通过组成变化具有T的权利要求说明书内容是....请下载后查看
说明书
通过组成变化具有T的说明书内容是....请下载后查看
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