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通过局部去除材料来制造预定刚度的游丝的方法

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19)中华人民共和国国家知识产权局
12)发明专利申请


21)申请号CN201611164470.722)申请日2016.12.16
71)申请人瑞士电子显微技术研究与开发中心股份有限公司

地址瑞士纳沙泰尔

10)申请公布号CN106896700A
43)申请公布日2017.06.27
72)发明人F·科勒;J-L·比卡耶;O·亨齐克74)专利代理机构北京市中咨律师事务所

代理人秘凤华
51Int.CI

G04B17/06;G04B1/14;
权利要求说明书说明书幅图
54)发明名称

通过局部去除材料来制造预定刚度的游丝的方法
57)摘要

本发明涉及一种用于制造预定刚度的游丝

的方法,其包括以下步骤:制造具有增大厚度的尺寸的游丝;确定在步骤a中形成的游丝的刚度,以局部地去除一定量的材料,以便获得具有所述预定刚度所需的尺寸的游丝。
法律状态

法律状态公告日
2017-06-272017-06-272017-06-272017-07-212017-07-212019-10-15
公开公开公开
法律状态信息
公开公开公开
法律状态
实质审查的生效实质审查的生效授权
实质审查的生效实质审查的生效授权


权利要求说明书
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说明书
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